广东华恒智能科技公司成立于2011年,是国家级高新技术、广东省专精特新企业,作为国内领先的接触式光刻机、接近式光刻机制造商,专注于先进光刻技术的研发和生产,包括单面套刻、双面曝光,套刻精度可达0.5um,分辨率1um。
公司集研发、制造、销售于一体,拥有CCD影像视觉系统研发、机械设计经验超15年;多名高级/中级工程师,掌握核心技术覆盖光学系统、对位算法、机械、自动化等。产品专注于图形对位曝光转移技术领域的高精度光刻系统、精密对位平台、光学对位系统。
华恒光刻机广泛应用于包括分立器件、功率半导体、MEMS传感器、光芯片、MiniLED、陶瓷基板、精密五金等领域。
█ 校企合作
校企合作单位:哈尔滨工业大学、西安电子科技大学、华南理工大学。
█ 专利技术(截止2025年)
发明专利30+项, 实用新型专利60+项