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外型尺寸:4300*1710*2250 mm
整机重量:4500kg
适用基材尺寸:250mm*500mm
菲林尺寸:290mm*580mm
对位精度:±10 µm (真空后);±5µm (真空前)
生产效率:10-18S/片(与来料、涨缩、精度相关)
光源解析能力: 20µm/20µm(15干膜)
上下重合度: ±10µm
纠偏精度: ≤100µm
拉料精度:≤80µm
光 源:LED面阵排布
保护功能:LED异常多点报警