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广东华恒智能科技有限公司成立于2011年,是国家级高新技术、广东省专精特新企业,国内领先的接触式光刻机、接近式光刻机制造商,专注于先进光刻技术的研发、生产和销售,设备包括单面套刻、双面曝光、背面对准,套刻精度0.5um,分辨率1um。 华恒拥有CCD影像视觉系统研发、机械设计经验超15年;多名高级、中级工程师,掌握核心技术覆盖光学系统、对位算法、机械、自动化等。产品专注于图形对位曝光转移技术领域的高精度光刻系统、精密对位平台、光学对位系统。 华恒光刻机广泛应用于分立器件、功率半导体、MEMS传感器、光芯片、MiniLED、陶瓷基板、精密五金等领域。 █ 校企合作 校企合作单位:哈尔滨工业大学、西安电子科技大学、华南理工大学。 █ 专利技术(截止2025年) 发明专利30+项,实用新型专利60+项

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