广东华恒智能科技有限公司成立于2011年,是国家高新技术企业、广东省专精特新企业,国内领先的接触式光刻机、接近式光刻机制造商,专注于先进光刻技术的研发、生产和销售,设备包括单面套刻、双面曝光、双面对准、多层套刻,套刻精度0.5um,分辨率1um。
华恒拥有CCD影像视觉系统研发、机械设计经验超15年;多名高级、中级工程师,核心技术包括高精度光刻系统、精密对位平台系统、CCD光学对位系统、对位算法系统、精密自动化系统等。
华恒光刻机广泛应用于分立器件、功率半导体、MEMS传感器、光芯片、MiniLED、陶瓷基板、精密五金等产品领域。
█ 校企合作
校企合作单位:哈尔滨工业大学、西安电子科技大学、华南理工大学。
█ 专利技术(截止2025年)
发明专利30+项,实用新型专利60+项