产品中心

推荐产品

联系我们

全国免费服务热线:
0769-26989251

传真号码：+ 86-769-26989275

联系邮箱：dk.yang@hhiat.com

产品中心您现在的位置：首页 >产品中心

半导体光刻机（TC100）

产品参数

■半自动上下料、自动对位、自动曝光
■LED光源：能量可调，均匀性≥ 95%
■高精度：对位精度±1µm ，线宽线距1-15µm ，上下重合度≤10µm , 直角及线路垂直≥87°
■优势：一致性高、无累积公差，适合高精度产品
■稳定的贴合结构、可自动较正平整度