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半自动光刻机（TC100）

产品参数

■半自动上下料、自动对位、自动曝光
■LED光源：能量可调，均匀性≥ 97%
■高精度：对位精度±1µm ，线宽线距1µm ，上下重合度±1µm , 直角及线路垂直≥87°
■优势：一致性高、无累积公差，适合高精度产品
■稳定的贴合结构、可自动较正平整度