分立器件全自动光刻机(GK100-FL)
功率器件/MEMS全自动光刻机(GK100-GL)
双面对准全自动光刻机(GK100)
mini/micro-LED全自动光刻机(GK100-LED)
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■半自动上下料、 自动对位、 自动曝光■LED光源 :能量可调 ,均匀性≥ 97%■高精度 :对位精度±1µm ,线宽线距1µm , 上下重合度±1µm , 直角及线路垂直≥87°■优 势:一致性高、 无累积公差 ,适合高精度产品■稳定的贴合结构 、 可自动较正平整度
可根据不同产品类别、 不同尺寸定制设备