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功率器件/MEMS全自动光刻机（GK100-GL）

产品特点
■无损掩膜 ■高对位精度 ■高解析 ■高效率 ■支持背面对准 ■兼容厚胶光刻 ■全自动化生产

全国服务热线：136-0042-2740

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产品参数

适用产品：

IGBT、光芯片、红外芯片、MEMS、MOS、可控硅、TVS、肖特基二极管、晶振、FRD、SiC SBD、Mini /Micro LED、GPP、ESD


GK100-GL

光刻尺寸

4”/6”/8”

分辨率

接触式：1μm

接近式：gap20μm

解析2μm

工作台模式

双工位

正面对准

±0.5μm

背面对准

/

WPH

200


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邮         箱 : dk.yang@hhiat.com

地         址 :广东省东莞市万江街道螺涌坊工业二路1号7栋701室

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