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■外型尺寸:3600*1750*2200 mm
■整机重量:3300kg
■适用基材尺寸:最大260mm*600mm
最小250mm*300mm
■重复对位精度:±10 µm
■拉料精度:<0.1mm
■生产效率:无缝拼接:3-4张/分
■光源解析能力:30um/30um
■上下重合度: ±10µm
■拼接精度:≤0.05mm
■曝光均匀性:≥90%
■光 源:扫描光源