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联系邮箱：dk.yang@hhiat.com
■外型尺寸：L4277 *W1710 *H2103mm
■整机重量：3500kg
■适用基材尺寸：最大520mm x 660mm
最小250mm*200mm
■重复对位精度：±10 µm
■生产效率：13S/张
■光源解析能力：25um/25um（20干膜）
■上下重合度：±10µm
■纠偏精度：＜0.5mm
■拉料精度：＜0.1mm
■光 源：扫描光源
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