分立器件全自动光刻机(GK100-FL)
功率器件/MEMS全自动光刻机(GK100-GL)
双面对准全自动光刻机(GK100)
mini/micro-LED全自动光刻机(GK100-LED)
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适用产品:
IGBT、光芯片、红外芯片、MEMS、MOS、可控硅、TVS、肖特基二极管、晶振、FRD、SiC SBD、Mini /Micro LED、GPP、ESD
GK100-FL
光刻尺寸
4”/6”/8”
分辨率
重复上料精度 ±50μm ,分辨率3μm
工作台模式
双工位
正面对准
/
背面对准
WPH
400