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适用产品：
IGBT、光芯片、红外芯片、MEMS、MOS、可控硅、TVS、肖特基二极管、晶振、FRD、SiC SBD、Mini /Micro LED、GPP、ESD
GK100-LED | |
光刻尺寸 | 4”/6”/8” |
分辨率 | 接触式：1μm 接近式：gap20μm 解析2μm |
工作台模式 | 双工位 |
正面对准 | ±1μm |
背面对准 | / |
WPH | 240 |
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