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功率器件/MEMS全自动光刻机（GK100-GL）

产品特点

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产品参数

适用产品：

IGBT、光芯片、红外芯片、MEMS、MOS、可控硅、TVS、肖特基二极管、晶振、FRD、SiC SBD、Mini /Micro LED、GPP、ESD

	GK100-GL
光刻尺寸	4”/6”/8”
分辨率	接触式：1μm 接近式：gap20μm 解析2μm
工作台模式	双工位
正面对准	±0.5μm
背面对准	/
WPH	200

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地址 :广东省东莞市万江街道螺涌坊工业二路1号7栋701室

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